粗糙度的带宽
介绍
除滤波器的取样长度外,Form Talysurf系列还有带宽选择的特性。合理地使用它,可使测量条件标准化并且对特殊的仪器系统是独力的。当用不同类型的测量仪器评定一个特殊表面时,使用合适的带宽可消除出现的不规则。
什么是粗糙度的带宽?
粗糙度的带宽的重要性
在较多的处理步骤中,为什么一个恒定的带宽如此重要呢?
与参数有关的倾斜和弯曲,对短波长而言是很敏感的,并有可能受其支配。使用恒定的带宽,就是要确保所进行的测量免受其干扰。
传统的系统允许测针几何形状被定义为带宽的低限。因为其几何形状是不容易被定义或控制的,因此首先选用可定义的带宽。
可选带宽的使用,允许在更长的评价长度内进行测量的相关评判。
能够影响测量表面的波长,其大小有个限定。其上限被设置为测量横臂本身的长度。其短波长(或高频)的限定受仪器的设计而影响。测针的限定尺寸,测量系统的电气或机械响应以及轮廓数据的采样速率,在计算机处理之前都先被数字化。
更多的这些因素,总是被设置为一个短波长限制,仪器将不对接近该波长的间距的表面特征做出响应。因为建议对被探测表面的波长无下限,因此依据取样长度的滤波描述是简化了很多。
在取样波长和探测到的最短波长之间,在波长带内,出现的仪器响应更精确。这就是该仪器的带宽,它通常被表示为两个限定波长的比率。多数情况下,300:1的带宽比被认为是合适的。
粗糙度数据点和带宽
采集的最大数据点个数是120000。对于小于30mm以内的横臂移动距离,采集的数据按0.25um的间隔计算;对于大于和等于30mm的横臂移动距离,采集的数据按1um的间隔计算。
如果选择了使用所有得到的数据点,那么计算的时间会延长。对大多数表面来说,2000-4000个数据点的典型值通常已经很合适了。在决定可用的带宽时,可依据下面的几点:
1.最大的带宽比是1000:1。
2. 数据减少的比率必须是全部数。
3. 对低通的取样长度,至少要用5个点。它不需要全部的数。
4. 除过在0.25um间隔时的高通取样长度为0.08mm及在1um间隔时的高通取样长度为0.25mm外,其带宽仅从标准取样长度的比而得到。它提供了100:1,300:1(近似)和1000:1的带宽比。
数据缩减是为了减少用在计算上的数据点的个数。
这可用一个平稳的滤波器来完成,该滤波器需要整个的数量缩减比率。下面的表格给出了可用到带宽的组合。