微型传感头型分光干涉式 激光位移计的光谱干涉系统的原理

光谱干涉系统的原理

[概要]

从光源(SLD)发出的宽波长光带，经传感头内部的参考反射面与对象物表面这两面的反射后，返回到光纤内部。这两个反射光是相互干涉的。各波长的干涉光强度由参考反射面与对象物的距离而决定。(如果知道各波长的干涉光强度，那么即能够求算出对象物的距离。)通过分光器对干涉光的每个波长实施分光后，使其在CCD形成图像，就能够得出波长的强度分布。分析这个强度分布，就能够算出至对象物为止的距离。

[详细(概要内容的详细说明)]

“从光源(SLD)发出的宽波长光带”...

光具有波的性质，通常将一个波形的长度称之为“波长”。也就是说，光以一波而前进的距离。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)拥有810nm至830nm的波长光带。

"两个反射光是相互干涉的"...

干涉，是指波的干涉。复数的波相重合，就形成了新的波形。
干涉具有两个法则: (1) 只有相同的波长才会产生干涉、(2) 如果为同相，则振幅会转为极大。
(1) : 例如，810nm和820nm的光不会产生干涉。只有在双方都为810nm或双方都为820nm的光才会产生干涉。
(2) : 如下图所示，当在相同地点，波峰与波峰、波谷与波谷相重合时(称之为同相)，干涉波的振幅转为极大;当波峰与波谷相重合时(称之为逆相)，振幅转为极小。干涉波振幅的大小由两个波的重合时机而决定。