SI-F 系列微型传感头型分光干涉式激光位移计应用
在自动化应用和传感应用中无可挑剔的表现。
测量晶片厚度
微型传感头可用于测量硅晶片等精密物体的厚度和翘曲度。
测量复印机中的辊的动作。
微型传感头可用于测量复印机等精密机械中的各个部件的动作。
定位高精度载物台
微型传感头可用于检测载物台停止的位置，因此可将实际值与参考值的差值反馈给相关设备。
高精度测量辊的偏转。
微型传感头可用于测量各种要求精确测量的辊（例如胶辊）的偏转。
5 kHz 高速采样
可紧跟高速旋转的工件。
测量曝光掩模的间隙
微型传感头可用于测量曝光掩模和玻璃基板的间隙。
测量玻璃盘的厚度
微型传感头可用于测量玻璃盘等光学透明物体的厚度。
最多 6 轴同时测量
实现无时间误差的多轴控制。
东莞威哲精密仪器有限公司是一家专业研究生产精密测量仪器的高新科技公司!主要产品有:圆度仪|圆柱度仪|轮廓度仪|粗糙度仪|一键测量仪|光学测量方案|测量自动化系统|测量投影仪|全自动影像测量仪|二次元|三次元测量仪|恒温恒湿箱|冷热冲击试验箱|烤箱|服务器SAG平面度测量仪|丝锥尺寸自动测量仪等